[实用新型]一种单自由度柔性微定位平台

摘要

本实用新型公开了一种单自由度柔性微定位平台，包括运动输入装置、柔性运动平台及用于固定柔性运动平台的平台底座，柔性运动平台包括对称设置两个半部运动机构，每个半部均包括由柔性铰链连接的运动平台和多级差动杠杆这种设计将位移放大，在柔性铰链和杠杆本身位置及尺寸精准的情况下，可以实现位移的较为精确的放大；设计结构简明，占据的空间相对较小，采用对称的结构，可较为稳定的输出位移，有效消除侧向附加位移，减小机构自身的纵向耦合位移误差，提升了位移放大的精度，柔性铰链的设计易于一体加工，可以避免装配误差。在相对较小的空间内、以较低的成本精确地实现位移放大，解决了柔性微定位平台的大行程与高精度难以兼顾的问题。

主权项

一种单自由度柔性微定位平台，包括运动输入装置、柔性运动平台及用于固定柔性运动平台的平台底座，其特征在于，所述柔性运动平台包括设置于同一平面的第一半部和第二半部，所述运动输入装置通过第一平台将平移运动输入至第一半部和第二半部，所述第一半部与所述第二半部的结构关于所述第一平台的中轴轴对称；所述第一半部包括第二平台，所述第二平台的首端通过第一柔性铰链与第一杠杆的尾端连接，尾端通过第二柔性铰链与第二杠杆的中段连接；所述第一杠杆与所述第一平台背离一侧的首端通过第三柔性铰链与第三杠杆的首端连接，所述第一杠杆面向所述第一平台一侧的中段与所述平台底座通过第四柔性铰链连接；所述第二杠杆的首端通过第五柔性铰链与所述第三杠杆的中段连接，所述第二杠杆面向所述第一平台一侧的尾端与所述平台底座之间，通过第六柔性铰链连接；所述第三杠杆背离所述第二杠杆一侧的尾端通过第七柔性铰链与输出平台连接，所述输出平台连接有限制其沿所述运动输入装置输入的动作的方向运动的限位结构。