[实用新型]动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机有效
| 申请号： | 201620941048.7 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN206047359U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;辛天才;袁聪 | 申请（专利权）人： | 武汉吉事达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市藏龙*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头和两个交叉的直线运动平台，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头和二维振镜头安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器和二维振镜头各有两件或两件以上，多件激光发生器的激光头和二维振镜头组合后并排安装，其特征在于还包括动态聚焦镜，动态聚焦镜安装在激光发生器的激光头和二维振镜头组合之间。本实用新型的动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机生产效率高，良品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 聚焦 拼接 激光 刻蚀 | ||
【主权项】：
动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头和两个交叉的直线运动平台，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头和二维振镜头安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器和二维振镜头各有两件或两件以上，多件激光发生器的激光头和二维振镜头组合后并排安装，其特征在于：还包括动态聚焦镜，动态聚焦镜安装在激光发生器的激光头和二维振镜头组合之间。
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