[实用新型]一种楔形单晶硅片磨削加工装置有效
| 申请号： | 201620941465.1 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN205950428U | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 陈志佳;周小渊;梁伟;钟朋格;房棋;柯小龙 | 申请（专利权）人： | 宁夏中晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06 |
| 代理公司： | 银川长征知识产权代理事务所64102 | 代理人： | 马长增,姚源 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种楔形单晶硅片磨削加工装置，由夹具装置和砂轮装置组成，夹具装置由支撑座、夹装吸盘、负压装置组成；夹装吸盘和负压装置固定安装在支撑座上，夹装吸盘上均匀开设有一组负压吸孔，负压吸孔联通负压装置；砂轮装置与夹装吸盘面对面设置。有益效果在于解决了现有的硅棒加工过程中形成的楔形单晶硅片难以加工只能作为原料处理的问题；立式吸附固定的方式，实现了同一模具夹装不同尺寸单晶硅片的形式，避免了楔形样片采用平面放置方式在加工过程中容易碎裂的问题；将原本废弃的楔形单晶硅片吸附固定后利用砂轮进行磨削处理，确保了楔形样片转检测片成功率；通过机械加工为合格的检测片，以达到减少单晶硅在加工过程中减少损耗、节约成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 楔形 单晶硅 磨削 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种楔形单晶硅片磨削加工装置,其特征在于：由夹具装置(1)和砂轮装置(2)组成，夹具装置(1)由支撑座(11)、夹装吸盘(12)、负压装置(13)组成；夹装吸盘(12)和负压装置(13)固定安装在支撑座(11)上，夹装吸盘(12)上均匀开设有一组负压吸孔(121)，负压吸孔(121)联通负压装置(13)；砂轮装置(2)与夹装吸盘(12)面对面设置。
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