[实用新型]用于固定衬底的设备和用于减少衬底中的翘曲的设备

摘要

本实用新型涉及用于固定衬底的设备和用于减少衬底中的翘曲的设备。技术的各种实施例可包括用于改善接合的方法和设备，并且可与被构造成支撑衬底的主平台相结合进行操作。本实用新型的一个方面的目的是提供用于固定衬底的设备或用于减少衬底中的翘曲的设备。可移动构件在旋转到第一位置时可允许所述衬底被置于所述主平台上，并且在旋转到所述第二位置时可将力施加于所述衬底的朝上表面上的预定区域。本实用新型的一个方面的技术效果在于所提供的设备固定衬底或减少了衬底中的翘曲。

主权项

一种用于固定衬底的设备，其特征在于，包括：被构造成支撑所述衬底的主平台；置于所述主平台之上并且可在第一位置和第二位置之间旋转的多个可移动构件，其中每个可移动构件：在旋转到所述第一位置时允许将所述衬底置于所述主平台上；并且在旋转到所述第二位置时将力施加于所述衬底的朝上表面上的预定区域。