[实用新型]一种蓝宝石晶片的退火治具

摘要

本实用新型提供了一种蓝宝石晶片的退火治具，该治具主要包括底座、隔离支柱和隔层结构。本实用新型的退火治具采用耐高温陶瓷材料（如氧化铝、氧化锆等），可有效避免治具对晶片产生的污染；通过采用特殊结构的治具底座和隔离支柱，可有效降低治具与晶片之间的接触面积，降低由于治具与晶片之间因导热系数不一致而导致晶片在退火过程中出现碎裂的几率；通过采用隔层结构，可使晶片的退火效率大幅提升。

主权项

一种蓝宝石晶片的退火治具，其特征在于它包括如下部件：(1) 底座：底座的下表面为水平面，底座的上表面为波浪式结构，波浪式结构中均匀分布着横、纵向排列规整的凹槽；(2) 隔离立柱：隔离立柱为可拆卸结构，立柱的横截面积与底座上表面波浪式结构中的凹槽的横截面积一致，隔离立柱的四条棱边设置有倒角；(3) 隔层结构：隔层结构上、下表面均设置横、纵向排列均匀的隔离立柱，隔层结构底部凹槽的位置与底座顶部凹槽的位置相对应。