[实用新型]一种等离子刻蚀机

摘要

本实用新型公开了一种等离子刻蚀机，包括箱体和隔板，所述隔板将箱体的内腔分为上腔室和下腔室，所述上腔室内通过支架安装有盒体，所述箱体的外侧分别安装有溶液箱和气泵,且溶液箱和气泵与盒体通过管道相连接，在两个管道上均安装有电磁阀，所述盒体上安装有喷头，所述支架上安装有发热灯，所述隔板的上端安装有托盘，所述下腔室内安装有集液箱,集液箱与托盘通过管道相连接，且管道上安装有电磁阀，所述下腔室内安装有真空泵,真空泵与上腔室通过管道相连接。本实用新型可单独进行某一种的刻蚀工作，起到一物两用的好处，节省购置一台机器的成本。

主权项

一种等离子刻蚀机，包括箱体（1）和隔板（2），所述隔板（2）将箱体（1）的内腔分为上腔室（3）和下腔室（4），其特征在于，所述上腔室（3）内通过支架（13）安装有盒体（9），所述箱体（1）的外侧分别安装有溶液箱（10）和气泵（11）,且溶液箱（10）和气泵（11）与盒体（9）通过管道相连接，在两个管道上均安装有电磁阀，所述盒体（9）上安装有喷头（14），所述支架（13）上安装有发热灯（12），所述隔板（2）的上端安装有托盘（5），所述下腔室（4）内安装有集液箱（6）, 集液箱（6）与托盘（5）通过管道相连接，且管道上安装有电磁阀，所述下腔室（4）内安装有真空泵（7）, 真空泵（7）与上腔室（3）通过管道相连接，所述上腔室（3）的一侧设有加气口（17），所述箱体（1）的外侧安装有射频电源（15），所述射频电源（15）的外侧安装有射频电感线圈（16），所述托盘（5）内安装有静电吸盘（8），且所述射频电源（15）分别与射频电感线圈（16）和静电吸盘（8）电连接。