[实用新型]一种微型压电超声换能器有效

专利信息
申请号: 201620961061.9 申请日: 2016-08-27
公开(公告)号: CN206077678U 公开(公告)日: 2017-04-05
发明(设计)人: 王韬 申请(专利权)人: 深圳市诺维创科技有限公司
主分类号: H04R9/06 分类号: H04R9/06;H04R9/02
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 代理人: 朱琳爱义
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种微型压电超声换能器,在硅衬底上设置至少一个震膜结构,该震膜结构为凸出于硅衬底的中空曲面,即震膜结构的外轮廓为圆滑的曲面且曲面内部中空。通过将震膜结构从二维平面结构变更为三维立体的中空结构,使换能器无需设置支撑层,凭借震膜结构即可完成超声换能工作。并且,由于震膜结构具有三维立体的曲面,换能器工作时依靠震膜结构产生的应变方向从横向变为了与横向具有一定角度的倾斜方向,因此,震膜结构产生的应变可以直接贡献为垂直于硅衬底方向的形变和震动,无需经过横向应变到垂直方向应变的转换过程,这样可以提高微型压电超声换能器的机电耦合系数,从而提高换能器能量转换效率,降低工作能耗。
搜索关键词: 一种 微型 压电 超声 换能器
【主权项】:
一种微型压电超声换能器,其特征在于,包括:硅衬底,设置在所述硅衬底上的至少一个震膜结构,所述震膜结构为凸出于所述硅衬底的中空曲面。
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