[实用新型]一种固化设备

摘要

本实用新型涉及显示技术领域，公开一种固化设备，固化设备包括固化腔室、基台以及加热板，加热板用于加热基板，还包括多个第一顶针和多个第二顶针以及控制装置，第一顶针和第二顶针交错排列，第一顶针安以及第二顶针安装于基台，且在第二顶针内设有与气源相连的气流通道，且第二顶针的顶端设有与气流通道相连通用于喷出气体的开口，第二顶针的顶端与基台的距离小于第一顶针的顶端与基台的距离；控制装置用于控制第一顶针以及第二顶针的动作，控制第一顶针向下运动，在基板运动至设定高度时控制第二顶针的开口喷出气体且基板悬浮时控制加热板加热基板，固化完成后控制第一顶针向上运动，且控制第二顶针喷气停止不早于第一顶针与基板的接触。

主权项

一种固化设备，用于对涂覆有配向膜原液的基板进行固化，包括固化腔室和设置在所述固化腔室内的基台以及加热板，所述加热板用于加热所述基板，其特征在于，还包括用于支撑所述基板的多个第一顶针和多个第二顶针以及控制装置，所述第一顶针和第二顶针交错排列，其中：所述第一顶针的底端可移动地安装于所述基台，且多个所述第一顶针的顶端配合形成基板支撑面；所述第二顶针的底端固定安装于所述基台，且在所述第二顶针内设有与气源相连的气流通道，且所述第二顶针的顶端设有与所述气流通道相连通用于喷出气体的开口，沿垂直于所述基板支撑面的方向，所述第二顶针的顶端与基台的距离小于所述第一顶针的顶端与基台的距离；所述控制装置与所述第一顶针、第二顶针以及加热板相连，用于控制所述第一顶针的移动以及第二顶针的开口喷气，在所述基板进入所述固化腔室时控制所述第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向下运动，在基板向下运动至设定高度时控制所述第二顶针的开口喷出气体以支撑所述基板且所述基板处于悬浮状态时控制加热板加热所述基板，在固化完成后控制装置控制第一顶针沿垂直于所述基板支撑面的方向向上运动，且控制所述第二顶针的开口喷气停止不早于所述第一顶针与基板的接触。