[实用新型]氟化氢废气处理装置

摘要

本实用新型公开了一种氟化氢废气处理装置，包括通过管道依次相连的旋风除尘器、风机、一号处理容器和二号处理容器，一号处理容器上设有废气进口、二次循环进口和一号出口，二号处理容器上设有二号进口和二号出口，风机与废气进口、一号出口与二号进口之间均通过管道相连，二号出口处设有管道，二号出口处的管道分为排出段和回流段，排出段的一端与二号出口相连，回流段一端与排出段的中部相连通，另一端与一号处理容器上的二次循环进口相连，二号出口外的排出段上设有氟化氢浓度监测仪，沿废气排放方向，氟化氢浓度监测仪位于回流段的前面。解决现有技术尾气中氟化氢没有祛除干净的问题，同时解决对尾气进行处理后没有及时进行监测的问题。

主权项

一种氟化氢废气处理装置，其特征在于：包括通过管道依次相连的旋风除尘器（1）、风机（2）、一号处理容器（3）和二号处理容器（4），所述一号处理容器（3）和二号处理容器（4）内均装有氢氧化钙溶液，一号处理容器（3）上设有废气进口、二次循环进口和一号出口，所述二号处理容器（4）为加压舱，二号处理容器（4）上设有二号进口和二号出口，风机（2）通过管道与一号处理容器（3）的废气进口相连，一号处理容器（3）的一号出口通过管道与二号处理容器（4）的二号进口相连，二号处理容器（4）的二号出口处设有管道，二号出口处的管道分为排出段（11）和回流段（12），排出段（11）的一端与二号处理容器（4）的二号出口相连，另一端上设有滤网，回流段（12）一端与排出段（11）的中部相连通，回流段（12）的另一端与一号处理容器（3）上的二次循环进口相连，所述风机（2）与一号处理容器（3）的废气进口间的管道上、一号处理容器（3）的一号出口与二号处理容器（4）的二号进口间的管道上和所述回流段上均设有电动阀（5），所述二号出口外的排出段（11）上设有氟化氢浓度监测仪（6）和两个电动阀（5），沿废气排放方向，氟化氢浓度监测仪（6）位于回流段（12）的前面，两个电动阀（5）分别位于回流段（12）的两侧，所述电动阀（5）和氟化氢浓度监测仪（6）均与控制器电信号连接。