[实用新型]一种高能效石墨舟

摘要

本实用新型涉及到一种石墨舟，具体涉及到一种高能效石墨舟领域。该高能效石墨舟包括石墨舟舟片、陶瓷环、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨块，所述石墨舟舟片按一定的间距均匀排列，每两片石墨舟舟片之间设置有一个陶瓷环，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨块将石墨舟舟片两端连接，所述石墨舟舟片其中一端最中心处的石墨舟舟片的一侧其上部设置有上石墨电极块，其下部设置有下石墨电极块，其另一侧设置有陶瓷片，所述陶瓷片设置在上石墨电极块和中心处的石墨舟舟片的两侧。由于加了绝缘陶瓷片，改变电场，使电场在整个石墨舟内均匀分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅层结构的统一性。

主权项

一种高能效石墨舟，包括石墨舟舟片（1）、陶瓷环（2）、陶瓷棒（3）、石墨棒（4）、石墨螺帽（5）和石墨块（6），其特征在于：所述石墨舟舟片（1）按一定的间距均匀排列，每两片石墨舟舟片（1）之间设置有一个陶瓷环（2），所述石墨舟舟片（1）上均开有用于固定的安装孔（10），所述陶瓷棒（3）穿入安装孔（10）将石墨舟舟片（1）和陶瓷环（2）连接成一个整体，在两块相邻的石墨舟舟片（1）和两根相邻的陶瓷环（2）之间构成了物料存放空间，所述陶瓷棒（3）的两端用石墨螺帽（5）拧紧固定，所述石墨舟舟片（1）的两端与其相邻的石墨舟舟片（1）间设置有石墨块（6），所述石墨棒（4）穿入石墨舟舟片（1）和石墨块（6）将石墨舟舟片（1）两端连接，所述石墨棒（4）的两端用石墨螺帽（5）固定，所述石墨舟舟片（1）其中一端最中心处的石墨舟舟片（1）的一侧上部设置有上石墨电极块（8），所述石墨舟舟片（1）其中一端最中心处的设置有上石墨电极块（8）的石墨舟舟片（1）的下部设置有下石墨电极块（9），所述在石墨舟舟片（1）其中一端最中心处设置有上石墨电极块（8）和下石墨电极块（9）的石墨舟舟片（1）的另一侧设置有陶瓷片（7），所述陶瓷片（7）设置在上石墨电极块（8）和中心处的石墨舟舟片（1）的两侧。