[实用新型]用于晶圆制造圆片清洗的花篮有效
| 申请号： | 201620970377.4 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN205959965U | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 刘晴晴;葛宜威;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州杰盈汽车芯片有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 陶得天 |
| 地址： | 225008 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于晶圆制造圆片清洗的花篮。涉及清洗工具，尤其涉及用于晶圆制造圆片清洗的花篮。提供了一种结构简单，提高产能，节约时间的用于晶圆制造圆片清洗的花篮。所述立板一和立板二之间设有一对平行且对称设置的撑杆一，一对撑杆一位于立板一的底部两端，所述撑杆一垂直于立板一，所述撑杆一在轴向上均布设有若干插槽一；所述立板一和立板二之间还设有撑杆二，所述撑杆二位于立板一的中间，所述撑杆二平行于撑杆一，所述撑杆二在轴向上均布设有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一对应。所述撑杆二具有一对，一对撑杆二之间的连线垂直于一对撑杆一之间的连线。本实用新型方便加工，节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 清洗 花篮 | ||
【主权项】：
用于晶圆制造圆片清洗的花篮，其特征在于，包括一对平行设置的立板一和立板二，所述立板一和立板二之间设有一对平行且对称设置的撑杆一，一对撑杆一位于立板一的底部两端，所述撑杆一垂直于立板一，所述撑杆一在轴向上均布设有若干插槽一；所述立板一和立板二之间还设有撑杆二，所述撑杆二位于立板一的中间，所述撑杆二平行于撑杆一，所述撑杆二在轴向上均布设有若干插槽二，所述插槽一和插槽二一一对应。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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