[实用新型]一种多光束阵列振镜扫描系统有效
| 申请号： | 201620971516.5 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN206200343U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 宋长辉;王安民;杨永强;王迪;李阳 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/067;B23K26/082 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种多光束阵列振镜扫描系统，包括振镜框体结构，所述振镜框体结构内部设有X轴阵列振镜系统和Y轴振镜系统，X轴阵列振镜系统或Y轴振镜系统为多个轴心线相互平行的振镜组成，经扩束镜扩束后的激光通过进光口进入阵列振镜扫描系统内部，光束到达X轴阵列振镜系统被平分为n束光强相同的平行光束，n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动，并投射到Y轴振镜系统上，在Y轴振镜偏转反射带动下，n组光束在Y方向上移动，最后该n组光束经过出光口并被F‑θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。通过本实用新型的技术方案，加工效率将会成倍增长，增长的倍数与振镜的阵列数目相同，极大的降低加工时间和加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 阵列 扫描 系统 | ||
【主权项】：
一种多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，包括振镜框体结构(5)，所述振镜框体结构上设有进光口(1)和出光口(4)，所述振镜框体结构(5)内部设有X轴阵列振镜系统(2)和Y轴振镜系统(3)，所述X轴阵列振镜系统(2)或Y轴振镜系统(3)为多个轴心线相互平行的振镜组成，经扩束镜扩束后的激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部，光束到达X轴阵列振镜系统(2)被平分为n束光强相同的平行光束，n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动，并投射到Y轴振镜系统(3)上，在Y轴振镜偏转反射带动下，n组光束在Y方向上移动，从而实现n组光束在X方向位置可控运动，在Y方向同步运动，最后该n组光束经过出光口(4)并被F‑θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南理工大学，未经华南理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620971516.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
