[实用新型]一种APD自动测试设备

摘要

本实用新型公开了一种APD自动测试设备，包括电控箱和防护箱底板，所述电控箱的一侧底部边缘与防护箱底板为一体式结构，所述防护箱底板上配套安装有防护箱盖，所述防护箱盖通过扣接的方式分别连接于电控箱和防护箱底板上，所述防护箱底板上安装有测试载具，所述测试载具上连接有接触探针，所述接触探针连接有X轴探针机械手、Y轴探针机械手和Z轴探针机械手，所述X轴探针机械手、Y轴探针机械手和Z轴探针机械手构成空间立体坐标系，将APD放置于测试载具上，通过构成立体坐标系的三个机械手的运动带动接触探针对每一个APD进行通电测试，通过电控箱提供测试需要的条件，解决了传统测试的弊端，从而提高暗电流响应度的测量精度。

主权项

一种APD自动测试设备，其特征在于，包括电控箱(1)和防护箱底板(2)，所述电控箱(1)的一侧底部边缘与防护箱底板(2)为一体式结构，所述防护箱底板(2)上配套安装有防护箱盖(3)，所述防护箱盖(3)通过扣接的方式分别连接于电控箱(1)和防护箱底板(2)上，所述防护箱底板(2)上安装有测试载具(4)，所述测试载具(4)上连接有接触探针(5)，所述接触探针(5)连接有X轴探针机械手(6)、Y轴探针机械手(7)和Z轴探针机械手(8)，所述X轴探针机械手(6)、Y轴探针机械手(7)和Z轴探针机械手(8)构成空间立体坐标系。