[实用新型]一种新型高精度自动上片石英舟有效
| 申请号： | 201620980760.8 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206116359U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 梁伟兴;吴慧明 | 申请（专利权）人： | 上海菲利华石创科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种新型高精度自动上片石英舟，包括上侧槽棒、下侧槽棒、左侧板、右侧板、X向标准凸台、Y向标准凸台、支撑点，所述上侧槽棒位于石英舟上部，所述下侧槽棒位于上侧槽棒下部且与上侧槽棒平行，所述左侧板、右侧板分别位于石英舟的左、右侧边缘，所述X向标准凸台位于左侧板中间段位，所述Y向标准凸台位于石英舟左右侧板侧面上，且分别与左侧板和右侧板处于同一竖直线上，所述支撑点位于右侧板的端面上。其有益效果为保证圆槽棒直度控制在万分之三以内，方槽棒平整度达到标准单位英寸面积5um，各被测量点和相邻面交角达到分级标准，槽型和槽距达到一致，确保每批石英舟槽起始尺寸的精度和一致性，防止石英舟在高温下因重力引起的热变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 高精度 自动 上片 石英 | ||
【主权项】：
一种新型高精度自动上片石英舟，包括上侧槽棒（1）、下侧槽棒（2）、左侧板（3）、右侧板（4）、X向标准凸台（5）、Y向标准凸台（6）、支撑点（7），其特征在于：所述的上侧槽棒（1）位于石英舟的上部，所述的下侧槽棒2位于上侧槽棒1下部且与上侧槽棒（1）平行，所述的左侧板（3）位于石英舟的左侧边缘，所述的右侧板（4）位于石英舟的右侧边缘，所述的X向标准凸台（5）位于左侧板（3）的中间段位，所述的Y向标准凸台（6）有两个，位于石英舟左右侧面侧面上，且分别与左侧板（3）和右侧板（4）处于同一竖直线上，所述的支撑点（7）位于右侧板（4）的端面上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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