[实用新型]用于半导体铜线键合工艺的保护气体检测报警系统

摘要

本实用新型公开一种用于半导体铜线键合工艺的保护气体检测报警系统，包括键合机、可编程继电器、流量开关及电源，所述电源分别与所述流量开关和可编程继电器电连接，所述流量开关与所述可编程继电器信号连接，所述可编程继电器与所述键合机电连接，所述流量开关用于对半导体铜线键合工艺的保护气体流量进行检测，若检测到保护气体流量不达标，则发出信号到所述可编程继电器，所述可编程继电器经过运算后，输出信号到所述键合机，所述键合机接收到信号后停机。本实用新型通过对铜线焊接过程中的铜线保护气体进行检测和及时报警，并能够对正在生产的机台立即停机，防止产品因铜线氧化而造成批量性报废，大大提高了集成芯片制造的成品率。

主权项

一种用于半导体铜线键合工艺的保护气体检测报警系统，其特征在于，包括：键合机、可编程继电器、流量开关及电源，所述电源分别与所述流量开关和可编程继电器电连接，所述流量开关与所述可编程继电器信号连接，所述可编程继电器与所述键合机电连接，所述流量开关用于对半导体铜线键合工艺的保护气体流量进行检测，若检测到保护气体流量不达标，则发出信号到所述可编程继电器，所述可编程继电器经过运算后，输出信号到所述键合机，所述键合机接收到信号后停机。