[实用新型]一种加压式多晶硅坩埚模具有效
申请号: | 201620982364.9 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN206127477U | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 钟伟;陆文研 | 申请(专利权)人: | 无锡舜阳新能源科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人: | 王明亮 |
地址: | 214400 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及机械模具领域,公开了一种加压式多晶硅坩埚模具,包括坩埚左壳体、坩埚右壳体和2个坩埚隔板,坩埚左壳体和坩埚右壳体均为敞口式壳体,坩埚左壳体和坩埚右壳体的开口端对接后形成一个密闭腔体,2个坩埚隔板分别安装在坩埚左壳体和坩埚右壳体内部,坩埚隔板与坩埚左壳体形成第一空腔,坩埚隔板与坩埚右壳体形成第二空腔,坩埚左壳体和坩埚右壳体对接处形成第三空腔,第三空腔内设有加热系统和用于控制和调节加热系统温度的控制器,坩埚左壳体和坩埚右壳体上还设有加压孔和排气孔;本实用新型采用坩埚隔板结构设计,对坩埚加压有利于原材料快速成型,结构合理,自动化程度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 加压 多晶 坩埚 模具 | ||
【主权项】:
一种加压式多晶硅坩埚模具,其特征在于,包括坩埚左壳体(1)、坩埚右壳体(2)和2个坩埚隔板(3),所述坩埚左壳体(1)和所述坩埚右壳体(2)均为敞口式壳体,所述坩埚左壳体(1)和所述坩埚右壳体(2)的开口端对接后形成一个密闭腔体,2个所述坩埚隔板(3)分别安装在所述坩埚左壳体(1)和所述坩埚右壳体(2)内部,所述坩埚隔板(3)与所述坩埚左壳体(1)形成第一空腔(4),所述坩埚隔板(3)与所述坩埚右壳体(2)形成第二空腔(5),所述坩埚左壳体(1)和所述坩埚右壳体(2)对接处形成第三空腔(6),所述第一空腔(4)和所述第二空腔(5)可容纳原料,所述第三空腔(6)内设有加热系统和用于控制和调节加热系统温度的控制器,所述坩埚左壳体(1)和所述坩埚右壳体(2)内壁上由内到外依次设有保温层、防火层和耐磨层,所述坩埚左壳体(1)上设有第一加压孔和第一排气孔,所述第一加压孔和所述第一排气孔与所述第一空腔(4)连通,所述坩埚右壳体(2)上设有第二加压孔和第二排气孔,所述第二加压孔和所述第二排气孔与所述第二空腔(5)连通。
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