[实用新型]一种DSOI微压传感器

摘要

针对现有的微压传感器存在背岛结构不合理、弹性膜容易损坏的问题，本实用新型提供一种DSOI微压传感器，其解决问题的技术方案是岛设置在正面中心位置；在岛的四周设置有四个梁区；梁区设置在该传感器的边沿到岛的应力中心位置；在岛的正下方设置有过载限位区，该过载限位区正下方设置有大气平衡孔；大气平衡孔与方形窗口联通；所述的梁区和岛的周围设置有膜区，膜区的厚度为岛的一半。本实用新型免去背岛结构，采用正面梁—膜—岛结构，使微压传感器的零点稳定性大大提高；膜区的厚度仅为梁区和岛区的二分之一，其作用具有应力集中效应，提高了传感器的灵敏度；通过过载限位区的保护，保证器件不受破坏。

主权项

一种DSOI微压传感器，包括岛（11）、梁区（9）、过载限位区（3）、大气平衡孔（12）、方形窗口（13）和膜区（10），其特征是：岛（11）设置在正面中心位置；在岛（11）的四周设置有四个梁区（9）；梁区（9）设置在该传感器的边沿到岛（11）的应力中心位置；在岛（11）的正下方设置有过载限位区（3），该过载限位区（3）正下方设置有大气平衡孔（12）；大气平衡孔（12）与方形窗口（13）联通；所述的梁区（9）和岛（11）的周围设置有膜区（10），膜区（10）的厚度为岛（11）的一半。