[实用新型]一种平面度检测装置有效
| 申请号： | 201620994713.9 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206002068U | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 吕绍林;马金勇;孙卫东;刘欢;陈天瑞;林建东 | 申请（专利权）人： | 苏州博众精工科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司11246 | 代理人： | 连围 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种平面度检测装置，包括夹取机构、位于夹取机构上方的激光传感器，所述激光传感器安装在X向运动模组和Y向运动模组上；所述夹取机构、X向运动模组和Y向运动模组安装在大理石平台上，大理石平台底部设有空气缓冲垫，配合伺服电机的加减速来降低测量系统的震动；待测TFT定位在夹取机构上，X向运动模组、Y向运动模组带着高速、高精度激光传感器到需要测量点位采集数据，使用激光传感器采集N个点位高度数据，使用最小二乘法计算产品平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种平面度检测装置，包括夹取机构(10)、位于夹取机构上方的激光传感器(20)，所述激光传感器安装在X向运动模组(30)和Y向运动模组(40)上；其特征在于：所述夹取机构、X向运动模组和Y向运动模组安装在大理石平台(50)上，大理石平台底部设有空气缓冲垫。
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