[实用新型]一种石英抛光灯有效

专利信息
申请号: 201620996865.2 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN205999274U 公开(公告)日: 2017-03-08
发明(设计)人: 李来斌 申请(专利权)人: 沈阳汉科半导体材料有限公司
主分类号: C03B29/00 分类号: C03B29/00;C03B20/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 110000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种石英抛光灯属于加工设备技术领域,尤其涉及一种石英抛光灯的改进。本实用新型提供一种绕少充分且效率高的一种石英抛光灯。一种石英抛光灯,其特征在于:包括氢气管、氧气管、灯外套管和均流小管,灯外套管由上端的氢气腔和下端的氧气腔构成,氢气管与氢气腔相连,氧气管与氧气腔相连;在氧气腔内均布有数个均流小管,在均流小管下端设有整流筛片。
搜索关键词: 一种 石英 抛光
【主权项】:
一种石英抛光灯,其特征在于:包括氢气管(1)、氧气管(2)、灯外套管(4)和均流小管(6),灯外套管(4)由上端的氢气腔(3)和下端的氧气腔(5)构成,氢气管(1)与氢气腔(5)相连,氧气管(2)与氧气腔(5)相连;在氧气腔(5)内均布有数个均流小管(6),在均流小管(6)下端设有整流筛片(7)。
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