[实用新型]用于扩散工序的源瓶有效
| 申请号： | 201621006289.9 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206109599U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 邱军辉;缪乾;王雪亮;程芳;陆佳;罗茂盛;张俊鹏 | 申请（专利权）人： | 江阴鑫辉太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了用于扩散工序的源瓶，其能充分利用源瓶内的三氯氧磷，节省生产成本。其包括瓶体，所述瓶体内腔通过竖板分隔成若干个独立的腔体，相邻的腔体的顶部相连通，所述瓶体的一侧的最外部的腔体上设置有顶部连通外部的第一进气管，其余的腔体内部分别设置有第二进气管，每个所述腔体的第二进气管的顶部分别连通一侧的腔体的顶部，所述第一进气管、第二进气管的下端分别位于对应腔体的底部位置，所述瓶体的另一侧的最外部的腔体的上部设置有出气管。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扩散 工序 | ||
【主权项】：
用于扩散工序的源瓶，其特征在于：其包括瓶体，所述瓶体内腔通过竖板分隔成若干个独立的腔体，相邻的腔体的顶部相连通，所述瓶体的一侧的最外部的腔体上设置有顶部连通外部的第一进气管，其余的腔体内部分别设置有第二进气管，每个所述腔体的第二进气管的顶部分别连通一侧的腔体的顶部，所述第一进气管、第二进气管的下端分别位于对应腔体的底部位置，所述瓶体的另一侧的最外部的腔体的上部设置有出气管。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴鑫辉太阳能有限公司，未经江阴鑫辉太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621006289.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种超大规格石英舟
- 下一篇：一种用于扩散工序的源瓶
