[实用新型]一种用于扩散工序的源瓶有效
| 申请号： | 201621006740.7 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206109600U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 邱军辉;缪乾;王雪亮;程芳;陆佳;罗茂盛;张俊鹏 | 申请（专利权）人： | 江阴鑫辉太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于扩散工序的源瓶，其能充分利用源瓶内的三氯氧磷，节省生产成本。其包括瓶体，所述瓶体的底板正上方设置有一块挡气板，所述挡气板平行于所述底板布置，所述挡气板横向覆盖所述瓶体的内腔，并将内腔分成独立的上部腔体、底部腔体，所述瓶体的顶部设置有进气管、出气管，所述进气管自上而下贯穿至所述底部腔体内，所述挡气板远离所述进气管的一端设置有至少一个透气孔，所述挡气板到底板的距离小于0.5mm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 工序 | ||
【主权项】：
一种用于扩散工序的源瓶，其特征在于：其包括瓶体，所述瓶体的底板正上方设置有一块挡气板，所述挡气板平行于所述底板布置，所述挡气板横向覆盖所述瓶体的内腔，并将内腔分成独立的上部腔体、底部腔体，所述瓶体的顶部设置有进气管、出气管，所述进气管自上而下贯穿至所述底部腔体内，所述挡气板远离所述进气管的一端设置有至少一个透气孔，所述挡气板到底板的距离小于0.5mm。
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