[实用新型]一种远程等离子体系统的底部法兰盘拆卸装置有效
| 申请号： | 201621011442.7 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN206010938U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 隆均;刘东升;吕煜坤;朱骏;张旭升;彭国发;江森林 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/02 | 分类号： | B25B27/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华,陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种远程等离子体系统的底部法兰盘拆卸装置，包括定位固定支架、法兰盘连接件和运动旋转螺丝，定位固定支架具有支架平面和与其连接的若干支撑脚，支撑脚用于在法兰盘周围抵触远程等离子体系统的主体底面，法兰盘连接件用于可拆卸连接至法兰盘底面，运动旋转螺丝头部穿过支架平面，并与法兰盘连接件底部形成螺纹配合，其位于支架平面外侧的尾部具有限位结构；可避免因手动拆除法兰盘受力不均引起左右偏移导致的磕碰等现象发生，大幅提升拆装的成功率，减少拆装时间，并可避免因不当拆装导致RPS内部石英管损坏所引起的后续缺陷、漏率异常等现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 远程 等离子体 系统 底部 法兰盘 拆卸 装置 | ||
【主权项】：
一种远程等离子体系统的底部法兰盘拆卸装置，所述远程等离子体系统设于蚀刻腔体上方，包括用于耦合产生等离子体电浆的石英管，所述石英管的底部出口部分延伸至所述法兰盘的中心孔内，并连通蚀刻腔体，所述法兰盘从下方密封安装在远程等离子体系统的主体底面，其特征在于，所述拆卸装置包括：定位固定支架，具有支架平面和与其连接的若干支撑脚，所述支撑脚用于在所述法兰盘周围抵触远程等离子体系统的主体底面；法兰盘连接件，用于可拆卸连接至所述法兰盘底面；运动旋转螺丝，其头部穿过支架平面，并与法兰盘连接件底部形成螺纹配合，其位于支架平面外侧的尾部具有限位结构。
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