[实用新型]一种硅片清洗机的热吹风烘干装置

摘要

本实用新型提供了一种硅片清洗机的热吹风烘干装置，属于机械技术领域。它解决了现有硅片清洗机的热吹风烘干装置效果并不理想，加热速度慢，过程繁琐，结构复杂且不易维修等技术问题。本硅片清洗机的热吹风烘干装置，硅片清洗机包括机架，在机架上固定有存放硅片的存放箱，存放箱具有热风进口，本热吹风烘干装置包括底座，在底座上固定有烘干箱，烘干箱包括内箱和设置在内箱外的外箱，内箱和外箱之间具有空腔。本实用新型具有结构简单，重量较轻，实用性强，热风效果更好的作用。

主权项

一种硅片清洗机的热吹风烘干装置，所述硅片清洗机包括机架(1)，在机架(1)上固定有存放硅片的存放箱(2)，存放箱(2)具有热风进口(3)，其特征在于，本热吹风烘干装置包括底座(4)，在底座(4)上固定有烘干箱(5)，烘干箱(5)包括内箱(51)和设置在内箱(51)外的外箱(52)，所述内箱(51)和外箱(52)之间具有空腔(521)，所述空腔(521)与内箱(51)的内部腔室(511)不连通，在空腔(521)内设置有导热油(6)，在外箱体(52)一侧上开设有进油口(7)，在外箱体(53)另一侧上开设有出油口(8)，进油口(7)通过一根输送管(9)与一锅炉(10)相连通，锅炉(10)内装有导热油(6)，在输送管(9)上设置有输送泵(91)，出油口(8)通过一根回油管(11)与所述的锅炉(10)相连通；在内箱(51)一侧上开设有出风口(12)，在内箱(51)另一侧上开设有进风口(13)，在出风口(12)处连接有出风管(121)，出风管(121)穿出外箱(52)与上述的热风进口(3)相连通，且出风管(121)与空腔(521)保持密封，在进风口(13)处连接有进风管(131)，进风管(131)穿出外箱(52)与一送风泵(14)相连通，且进风管(131)与空腔(521)保持密封，在内箱(51)中还设置有若干电加热管(15)。