[实用新型]一种氦气回收提纯装置有效
申请号: | 201621013204.X | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN206156757U | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 宗立冬;金向华;夏致远;孙猛;陈琦峰;周珽;曹文权;许军州;唐璐 | 申请(专利权)人: | 苏州金宏气体股份有限公司 |
主分类号: | C01B23/00 | 分类号: | C01B23/00 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人: | 陆金星 |
地址: | 215152 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氦气回收提纯装置,包括依次连接的流量计、初级过滤器、真空泵、压缩机、精密过滤器、第一缓冲罐、吸附系统、第二缓冲罐、深冷塔;所述吸附系统包括至少2组串联的吸附柱,所述深冷塔内设有至少三组串联的换热器,使提纯得到的氦气纯度大于等于99.999%。本实用新型可以适用于现代工业各个制造领域的工业用氦尾气,且实验证明,采用本实用新型的装置之后,最终的系统纯化回收率在95%左右,最终提纯得到的氦气纯度大于等于99.999%;取得了显著的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 氦气 回收 提纯 装置 | ||
【主权项】:
一种氦气回收提纯装置,其特征在于:包括依次连接的流量计(1)、初级过滤器(2)、真空泵(3)、压缩机(4)、精密过滤器(5)、第一缓冲罐(6)、吸附系统(7)、第二缓冲罐(8)、深冷塔(10);所述吸附系统包括至少2组串联的吸附柱,经过吸附系统之后使得原料气体中二氧化碳的含量小于等于0.2 ppm,水分的含量小于等于1 ppm,并除去卤族气体;所述深冷塔内设有至少三组串联的换热器,使提纯得到的氦气纯度大于等于99.999%。
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