[实用新型]一种新型扩晶机

摘要

本实用新型公开了一种新型扩晶机，底板上安装有固定座，固定座上通过固定螺栓安装有顶膜扩晶装置，便于顶膜扩晶装置的拆卸和安装；支撑板的中心处开设有第一通孔，第一通孔下方安装有第一伸缩气缸，第一伸缩气缸的伸缩杆顶端固定安装有圆形的扩晶板，扩晶板上方安装有由第二伸缩气缸控制的压板，扩晶板和压板上分别安装有第一卡环安装架以及第二卡环安装架，分别用于安装卡环的子环和母环，在扩晶板上升完成扩晶操作后，第二伸缩气缸控制压板下降，固定卡环的子环和母环，通过卡环防止晶片膜回缩变形；第一伸缩气缸和第二伸缩气缸的设计减小了扩晶板以及压板要升降过程中的震动，提高了扩晶效果。

主权项

一种新型扩晶机，其特征在于：包括扩晶机机架（1）以及安装在扩晶机机架（1）上的顶膜扩晶装置（2）和压模固定装置（3），所述扩晶机机架（1）包括底板（11），所述底板（11）上方通过支撑柱（12）安装有顶板（13），所述底板（11）上安装有固定座（14），所述固定座（14）上安装有用于固定的固定螺栓（15），所述底板（11）上通过固定座（14）安装有顶膜扩晶装置（2）；所述顶膜扩晶装置（2）包括支撑板（21），所述支撑板（21）的底面上安装有固定柱（22），所述固定柱（22）与对应的固定座（14）固定相连；所述支撑板（21）的中心处开设有第一通孔（23），所述第一通孔（23）下方安装有第一伸缩气缸（9），所述第一伸缩气缸（9）的伸缩杆顶端固定安装有圆形的扩晶板（31），所述扩晶板（31）侧面环绕安装有第一卡环安装架（32）；所述支撑板（21）的侧面上铰接安装有盖板（4），所述盖板（4）的中心处开设有大小与第一通孔（23）相匹配的第二通孔（41）；所述盖板（4）的侧面上铰接安装有卡钩（44），所述盖板（4）通过卡钩（44）与支撑板（21）固定相连；所述压模固定装置（3）包括安装在顶板（13）上的第二伸缩气缸（5），所述第二伸缩气缸（5）的伸缩杆穿过顶板（13）与压板（6）固定相连，所述压板（6）位于扩晶板（31）的正上方，所述压板（6）上还开设有与扩晶板（31）形状相匹配的凹槽（65），所述压板（6）上环绕凹槽（65）安装有与第一卡环安装架（32）相匹配的第二卡环安装架（61）。