[实用新型]一种硅片脱胶固定装置

摘要

一种硅片脱胶固定装置，包括脱胶装置，脱胶装置的两端侧壁上均设有两个滑槽和至少两个通孔，脱胶装置两端的滑槽之间设有侧边档杆，脱胶装置两端的通孔之间设有底部档杆；硅片竖直摆放设置在底部档杆上，两根侧边档杆其中一根的两端套设有橡皮绳，橡皮绳上设有挂钩，挂钩将另一根侧边档杆的两端钩住，实现两根侧边档杆的连接。滑槽为水平向设置，侧边档杆在滑槽内能够在水平方向上滑动。侧边档杆外还套设有乳胶管，橡皮绳及挂钩均与乳胶管接触连接。通过采用上述结构，将侧边档杆设置为能够滑动的结构，实现对硅片的夹紧固定，使硅片脱胶过程中，保持硅片的垂直，从而避免硅片发生破片及隐裂的情况。

主权项

一种硅片脱胶固定装置，包括脱胶装置（1），其特征是：脱胶装置（1）的两端侧壁（2）上均设有两个滑槽（3）和至少两个通孔（4），脱胶装置（1）两端的滑槽（3）之间设有侧边档杆（6），脱胶装置（1）两端的通孔（4）之间设有底部档杆（9）；硅片（5）竖直摆放设置在底部档杆（9）上，两根侧边档杆（6）其中一根的两端套设有橡皮绳（8），橡皮绳（8）上设有挂钩（10），挂钩（10）将另一根侧边档杆（6）的两端钩住，实现两根侧边档杆（6）的连接。