[实用新型]硅片花篮回转机构有效
| 申请号： | 201621021617.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206059354U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 陈宏;徐虎 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所(普通合伙)32211 | 代理人： | 陆华君 |
| 地址： | 215618 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片花篮回转机构，具有回转轨道，回转轨道具有直行轨道与弧形轨道，弧形轨道的两侧边设有内侧挡板、外侧挡板，弧形轨道的端部设有硅片花篮感应器及限位电机，回转轨道安装有可循环的网带，硅片花篮感应器感应到弧形轨道的端部未有硅片花篮时，限位电机驱动网带循环运作，硅片花篮感应器感应到弧形轨道的端部有硅片花篮时限位电机驱动网带停止。本实用新型的硅片花篮回转机构能够自动传输硅片花篮，减少人工搬运。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 花篮 回转 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片花篮回转机构，其特征在于：具有回转轨道，所述回转轨道具有直行轨道与弧形轨道，所述弧形轨道的两侧边设有内侧挡板、外侧挡板，所述弧形轨道的端部设有硅片花篮感应器及限位电机，所述回转轨道安装有可循环的网带，所述硅片花篮感应器感应到弧形轨道的端部未有硅片花篮时，限位电机驱动网带循环运作，所述硅片花篮感应器感应到弧形轨道的端部有硅片花篮时限位电机驱动网带停止。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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