[实用新型]硅片花篮翻转机构有效
| 申请号： | 201621024161.5 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206059362U | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 陈宏;徐虎 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所(普通合伙)32211 | 代理人： | 陆华君 |
| 地址： | 215618 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片花篮翻转机构，具有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机通过第一联轴器连接转动减速机，所述转动减速机驱动转动轴，所述转动轴通过第一连接件连接花篮座，所述花篮座包括卡座以及与卡座垂直的背板，所述花篮座与第一连接件固定连接。转动电机通过第一联轴器驱动转动减速机转动，转动减速机驱动转动轴转动，转动轴通过第一连接件连接花篮座，使得花篮座可旋转90度，从竖直状态翻转至水平状态，进而使得安装在花篮座上的硅片花篮从竖直状态翻转至水平状态。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 花篮 翻转 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片花篮翻转机构，其特征在于：具有转动机构，所述转动机构包括转动电机，所述转动电机通过第一联轴器连接转动减速机，所述转动减速机驱动转动轴，所述转动轴通过第一连接件连接花篮座，所述花篮座包括卡座以及与卡座垂直的背板，所述花篮座与第一连接件固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
