[实用新型]CIGS太阳能电池薄膜生产线有效
申请号: | 201621024283.4 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN206022406U | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | 黄乐;祝海生;黄国兴;孙桂红;黄夏 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人: | 熊娴,冯子玲 |
地址: | 411100 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了CIGS太阳能电池薄膜生产线,所述CIGS太阳能电池薄膜生产线为立式生产线,包括多个镀膜子线,各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜,每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室,主驱动辊设于放卷室和收卷室内,多个传动辊设于子线各腔室内,张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内;其中张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的,张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度,薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。本实用新型提供的CIGS太阳能电池薄膜生产线元素扩散路径短,无中间产物,无元素蒸发,薄膜效率高,特别适合大面积规模工业化生产。 | ||
搜索关键词: | cigs 太阳能电池 薄膜 生产线 | ||
【主权项】:
CIGS太阳能电池薄膜生产线,其特征在于:所述CIGS太阳能电池薄膜生产线为立式生产线,包括多个镀膜子线,各子线依次独立地对薄膜进行立式镀膜,每一子线沿薄膜展开方向至少包括放卷室、镀膜室和收卷室,主驱动辊设于放卷室和收卷室内,多个传动辊设于子线各腔室内,张力检测辊、张力调节辊设于子线至少一个腔室内;其中:张力检测辊与张力调节辊为相邻设置的,张力调节辊根据张力检测辊的反馈调节自身转速以调节薄膜于各腔室内传动速度,张力调节辊为非传动辊,薄膜经过张力检测辊与进过张力调节辊的展开轨迹为非直线轨迹。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的