[实用新型]一种离子源有效
| 申请号： | 201621026077.7 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206022304U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刁克明 | 申请（专利权）人： | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/04;H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司11609 | 代理人： | 周娇娇,谭辉 |
| 地址： | 100071 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种离子源，包括气体电离装置、离子光学系统和等离子体桥式中和器；所述离子源还包括用于检测等离子体电位径向分布的电位检测装置(4)，以及用于调整所述等离子体桥式中和器(3)位置的夹角调节装置(5)，所述电位检测装置(4)置于离子源的出射位置，并与所述夹角调节装置(5)连接。本实用新型可以在离子源采用不同的离子束参数时，根据等离子体电位径向分布来动态调整等离子体桥式中和器的位置，从而达到最佳的中和效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 | ||
【主权项】：
一种离子源，包括：气体电离装置(1)、离子光学系统(2)和等离子体桥式中和器(3)；其特征在于：所述离子源还包括用于检测等离子体电位径向分布的电位检测装置(4)，以及用于调整所述等离子体桥式中和器(3)位置的夹角调节装置(5)，所述电位检测装置(4)置于离子源的出射位置，并与所述夹角调节装置(5)连接。
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