[实用新型]一种新型微热板式气体敏感元件

摘要

一种新型微热板式气体敏感元件，涉及气体传感器，目的是为了解决现有的微热板式气体传感器存在敏感材料容易脱落以及器件整体尺寸较大的问题。上述气体敏感元件从下向上依次为氮化硅层、二氧化硅层、硅片和二氧化硅层构成的基底、第一绝缘钝化层和第二绝缘钝化层。基底上开有通透的中空硅杯，第一绝缘钝化层内嵌有敏感膜引出电极，该电极位于中空硅杯的底面，其下表面镀有气体敏感膜，加热电阻和测温电阻嵌在第二绝缘钝化层内，该钝化层的上表面设有加热电阻焊盘、测温电阻焊盘和敏感膜引出电极焊盘，每个焊盘上表面均设置有芯片凸点。中空硅杯使得气体敏感膜不易脱落，并且不需要额外安装保护罩，降低了整体尺寸。

主权项

一种新型微热板式气体敏感元件，其特征在于，从下向上依次为：氮化硅层(3)、二氧化硅层(2)、硅片(1)、二氧化硅层(2)、第一绝缘钝化层(5)和第二绝缘钝化层(8)；氮化硅层(3)、硅片(1)以及其两侧的二氧化硅层(2)构成所述气体敏感元件的基底，所述基底上开有通透的中空硅杯(17)，第一绝缘钝化层(5)内部嵌有敏感膜引出电极(4)，所述敏感膜引出电极(4)位于中空硅杯(17)的底面，且敏感膜引出电极(4)的下表面镀有气体敏感膜(14)，加热电阻(6)和测温电阻(7)嵌在第二绝缘钝化层(8)内，并且加热电阻(6)和测温电阻(7)的底面均位于第一绝缘钝化层(5)的上表面，第二绝缘钝化层(8)的上表面设置有加热电阻焊盘(10)、测温电阻焊盘(11)和敏感膜引出电极焊盘(12)，加热电阻焊盘(10)与加热电阻(6)电气连接，测温电阻焊盘(11)与测温电阻(7)电气连接，敏感膜引出电极焊盘(12)与敏感膜引出电极(4)电气连接，测温电阻焊盘(11)、加热电阻焊盘(10)和敏感膜引出电极焊盘(12)的上表面均设置有芯片凸点(13)。