[实用新型]一种新型光罩存储盒有效
申请号: | 201621029552.6 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN206039143U | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
发明(设计)人: | 张剑鸣 | 申请(专利权)人: | 苏州慧桥自动化设备有限公司 |
主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215500 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种新型光罩存储盒,包括盒体,盒体侧部设有与盒体内部连通的放置口,放置口上设有与盒体上部铰接的前板,前板与盒体下部通过锁扣固连;盒体顶面为透明的,且盒体顶面上设有加强筋;在盒体的内底面上固设有防磨件和感应件,防磨件与盒体侧面贴合;盒体的外底面上固设有4~10个支撑件。本实用新型使用方便,设置的前板方便了对光罩的放置,避免了光罩过多的接触空气;设于盒体内底面上的防磨件避免了对光罩的磨损;实现了光罩的放置,避免了光罩直接接触空气,造成的光罩污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 存储 | ||
【主权项】:
一种新型光罩存储盒,包括矩形盒体,其特征在于:盒体的任意3 个侧部上均设有与盒体内部连通的放置口,放置口上设有与盒体上部铰接的前板,前板与盒体下部通过锁扣固连;盒体顶面为透明的,且盒体的顶面上设有加强筋;在盒体的内底面上固设有防磨件和感应件,防磨件的数量为4~10 个,防磨件均匀分布于盒体内底面上,其中防磨件临近盒体内底面的边缘设置;感应件包括两个分别设置于盒体内侧壁和外侧壁上的机械式感应部;盒体的外底面上固设有4~10 个支撑件,支撑件的数量为偶数。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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