[实用新型]一种简便硅片倒片装置有效

专利信息
申请号: 201621030538.8 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN206076274U 公开(公告)日: 2017-04-05
发明(设计)人: 包君坚;蔡凯;马政 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 代理人: 尉伟敏,沈刚
地址: 322118 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种简便硅片倒片装置。它包括第一花篮座、第二花篮座、可移动花篮座和工作台,所述可移动花篮座的底部设有滑槽,所述的工作台上设有与滑槽相对应的滑轨,所述的可移动花篮座通过滑槽与滑轨相配合安装在工作台上,所述的第一花篮座和第二花篮座在同一直线上且与滑轨所在的直线相互平行,所述的第一花篮座和第二花篮座固定安装在工作台上。本实用新型的有益效果是不易产生碎片,成品率高,工作效率高,工作强度低,结构简单,操作方便,稳定可靠性高,适用范围广。
搜索关键词: 一种 简便 硅片 装置
【主权项】:
一种简便硅片倒片装置,其特征是,包括第一花篮座(2)、第二花篮座(3)、可移动花篮座(5)和工作台(7),所述可移动花篮座(5)的底部设有滑槽,所述的工作台(7)上设有与滑槽相对应的滑轨(8),所述的可移动花篮座(5)通过滑槽与滑轨(8)相配合安装在工作台(7)上,所述的第一花篮座(2)和第二花篮座(3)在同一直线上且与滑轨(8)所在的直线相互平行,所述的第一花篮座(2)和第二花篮座(3)固定安装在工作台(7)上。
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