[实用新型]真空室

摘要

本实用新型涉及一种真空室，该真空室中包括静导电杆、与静导电杆平行的检测电极，静导电杆和检测电极之间具有预设间隙；电源模块，设置在真空腔的外部，与检测电极和静导电杆连接，用于为检测电极和静导电杆提供电压，使间隙电压持续增加；检测模块，设置在真空腔的外部，且与检测电极和静导电杆连接，用于检测预设间隙产生场致发射电流时的第一间隙电压和发生击穿时的第二间隙电压，并根据第一间隙电压和第二间隙电压确定真空腔的真空度。在对本实用新型提供的真空室进行检测时，由于预设间隙是在静导电杆和检测电极之间形成的，与真空室内的动触头和静触头没有关系，因此可在真空开关合闸时进行真空度的检测，实现在线检测。

主权项

1.一种真空室，其特征在于，包括真空腔、动触头、静触头、与所述静触头连接的静导电杆、与所述静导电杆平行的检测电极、电源模块及检测模块，其中：所述动触头、所述静触头、所述静导电杆和所述检测电极均设置在所述真空腔的内部，所述静导电杆和所述检测电极之间具有预设间隙；所述电源模块，设置在所述真空腔的外部，且与所述检测电极和所述静导电杆连接，用于为所述检测电极和所述静导电杆提供电压，且使间隙电压持续增加，所述间隙电压为所述预设间隙的电压；所述检测模块，设置在所述真空腔的外部，且与所述检测电极和所述静导电杆连接，用于检测预设间隙产生场致发射电流时的第一间隙电压和发生击穿时的第二间隙电压，并根据所述第一间隙电压和所述第二间隙电压确定所述真空腔的真空度。