[实用新型]一种半导体元件清洗装置有效

专利信息
申请号: 201621045440.X 申请日: 2016-09-09
公开(公告)号: CN206059356U 公开(公告)日: 2017-03-29
发明(设计)人: 卓廷厚 申请(专利权)人: 厦门芯光润泽科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 福建省厦门市思明*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种半导体元件清洗装置,包括清洗机本体、电动机、固定杆、左盒体、清洗液箱、加热器和除尘风扇,所述清洗机本体正面上固定安装有玻璃拉门,所述电动机下方连接有清洗盘,所述固定杆与半导体放置盒相连接,所述半导体放置盒包括左盒体,所述左盒体与右盒体相连接,所述清洗液箱内部固定安装有水泵,所述加热器内部设置有引风扇,所述引风扇左侧依次安装有电热装置和空气过滤器,所述除尘风扇内侧设置有吸尘口。该半导体元件清洗装置的半导体放置盒是固定在固定杆上,而固定杆可以自由旋转,清洗盘在旋转的同时可以通过固定杆带动半导体放置盒旋转,这样就保证的半导体清洗均匀,清洗效果好,能够大大提高清洗效率。
搜索关键词: 一种 半导体 元件 清洗 装置
【主权项】:
一种半导体元件清洗装置,包括清洗机本体(1)、电动机(4)、固定杆(6)、左盒体(701)、清洗液箱(8)、加热器(11)和除尘风扇(16),其特征在于:所述清洗机本体(1)正面上固定安装有玻璃拉门(2),且清洗机本体(1)左侧下方连接有排水口(3),所述电动机(4)下方连接有清洗盘(5),所述固定杆(6)与半导体放置盒(7)相连接,所述半导体放置盒(7)包括左盒体(701),所述左盒体(701)与右盒体(703)相连接,且左盒体(701)和右盒体(703)上均设置有固定卡槽(702),所述清洗液箱(8)内部固定安装有水泵(9),且水泵(9)的左侧连接有喷水口(10),所述加热器(11)内部设置有引风扇(12),所述引风扇(12)左侧依次安装有电热装置(13)和空气过滤器(14),且引风扇(12)右侧设置有热空气喷口(15),所述除尘风扇(16)内侧设置有吸尘口(17)。
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