[实用新型]碟形物的湿处理装置有效

专利信息
申请号: 201621051242.4 申请日: 2016-09-13
公开(公告)号: CN205992525U 公开(公告)日: 2017-03-01
发明(设计)人: 苏左将;张宏源;张芳丕;黄文鼎 申请(专利权)人: 顶程国际股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京中誉威圣知识产权代理有限公司11279 代理人: 王正茂,丛芳
地址: 中国台湾台中*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 实用新型公开了一种碟形物的湿处理装置,包含转轴、驱动源、转盘以及多个夹持组件。转轴具有供气通道。驱动源被配置成驱动转轴转动。转盘连接转轴,并与转轴同步转动。转盘包含导流部以及贯穿转盘的至少一个泄气通道。导流部具有至少一个气流通道以及至少一个锥孔。气流通道连通供气通道以及锥孔。夹持组件设置在转盘上。每一个夹持组件包含枢转件、推进体以及夹持件。枢转件枢设于转盘中。推进体被配置成连动枢转件转动。夹持件连接于枢转件,且能够受到枢转件的连动而旋转。夹持件具有夹持部凸出于转盘的顶面。本实用新型的碟形物的湿处理装置可在湿处理的过程中改变碟形物的夹持位置,以使整体碟形物都能够接触湿处理液体。
搜索关键词: 碟形物 处理 装置
【主权项】:
一种碟形物的湿处理装置,其特征在于,包含:转轴,具有供气通道;驱动源,被配置成驱动所述转轴转动;转盘,连接所述转轴,并与所述转轴同步转动,其中所述转盘还包含导流部以及贯穿所述转盘的至少一个泄气通道,其中所述导流部具有至少一个气流通道以及至少一个锥孔,所述至少一个气流通道连通所述供气通道以及所述至少一个锥孔;以及多个夹持组件,设置在所述转盘上,其中每个所述夹持组件包含:枢转件,枢设于所述转盘中;推进体,被配置成连动所述枢转件转动;以及夹持件,连接于所述枢转件,且能够受到所述枢转件的连动而旋转,其中所述夹持件具有一个夹持部凸出于所述转盘的顶面。
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