[实用新型]改进型硅片自旋转及振荡机构

摘要

本实用新型涉及一种改进型硅片自旋转及振荡机构，包括上下振荡机构和硅片自旋转机构，上下振荡机构包括上下振荡电机减速机、凸轮机构、偏摆轴承传动机构、线性滑轨，上下振荡电机减速机输出端连接凸轮机构，凸轮机构连接偏摆轴承传动机构，偏摆轴承传动机构做直线上下运动，偏摆轴承传动机构与吊轴相连，吊轴另一端安装有硅片自旋转机构，硅片自旋转机构包括伺服电机、自旋转传动机构、圆形转轴、十字形拨轴，伺服电机的输出端连接自旋转传动机构，自旋转传动机构带动圆形转轴、十字形拨轴转动，自旋转传动机构为非接触式磁性元件传动机构；本实用新型避免了蚀刻不够或过蚀刻情况的出现，且效果显著，降低了工作强度，提高了生产效率。

主权项

一种改进型硅片自旋转及振荡机构，其特征在于：包括上下振荡机构和硅片自旋转机构，所述上下振荡机构包括上下振荡电机减速机(1)、凸轮机构(2)、偏摆轴承传动机构(3)、线性滑轨(4)，所述上下振荡电机减速机(1)的输出端连接凸轮机构(2)，所述凸轮机构(2)连接并带动偏摆轴承传动机构(3)，所述偏摆轴承传动机构(3)处设有线性滑轨(4)，所述偏摆轴承传动机构(3)在线性滑轨(4)的导向下做直线上下运动，所述偏摆轴承传动机构(3)与吊轴(5)相连，所述吊轴(5)另一端安装有硅片自旋转机构，所述硅片自旋转机构包括伺服电机(6)、自旋转传动机构、圆形转轴(7)、十字形拨轴(8)，所述伺服电机(6)的输出端连接自旋转传动机构，所述自旋转传动机构带动圆形转轴(7)、十字形拨轴(8)转动，所述自旋转传动机构为非接触式磁性元件传动机构。