[实用新型]用于激光写入系统的磁电阻传感器晶元版图

摘要

本实用新型提供一种用于激光写入系统的磁电阻传感器晶元版图，版图包括位于矩形切片阵列表面的包含反铁磁钉扎层的磁电阻多层薄膜，磁电阻传感单元的反铁磁钉扎层磁化取向通过激光写入系统进行定向排列，磁电阻传感单元电连接成桥臂，桥臂电连接成磁电阻传感器，切片内的磁电阻传感单元排列成至少两个空间隔离的磁电阻取向集团，且在磁电阻取向集团内，磁电阻传感单元的反铁磁钉扎层磁化取向角相同，且磁化取向角为0‑360度，相邻两个磁电阻取向集团的磁化取向角不同，且每个磁电阻取向集团与至少一个相邻切片内的具有相同磁化取向角的磁电阻取向集团近邻。本实用新型能够缩短激光扫描过程，实现原位推挽式磁电阻传感器单芯片制造的特点。

主权项

一种用于激光写入系统的磁电阻传感器晶元版图，所述晶元版图包括多个构成阵列的矩形切片，所述切片表面设置有磁电阻多层薄膜(1)，所述磁电阻多层薄膜(1)包括反铁磁层(4)，所述磁电阻多层薄膜(1)图形化成磁电阻传感单元，所述磁电阻传感单元的所述反铁磁层(4)磁化取向通过激光写入系统进行定向排列，所述磁电阻传感单元电连接成桥臂，所述桥臂电连接成磁电阻传感器，其特征在于：所述磁电阻传感单元排列成至少两个空间隔离的磁电阻取向集团，在每个所述磁电阻取向集团内，所述磁电阻传感单元的反铁磁层磁化取向角相同，且所述磁化取向角的范围为0到360度，相邻两个磁电阻取向集团的所述磁化取向角不同，且每个所述磁电阻取向集团与至少一个相邻所述切片内的具有相同磁化取向角的所述磁电阻取向集团近邻。