[实用新型]一种改进型HF升降温系统

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种改进型HF升降温系统，包括安装有化学品通道的热交换箱体(1)，热交换箱体(1)左右两侧分别设有半导体制冷片(2)，半导体制冷片(2)与热交换箱体(1)之间设有导热板(3)，半导体制冷片(2)另一侧设有冷却水箱(4)，热交换箱体(1)侧面上部开设有热交换箱体化学液出口(5)，热交换箱体(1)侧面下部开设有热交换箱体化学液进口(6)，冷却水箱(4)侧面开设有冷却水箱循环口(7)，半导体制冷片(2)通过电流控制模块连接开关电源；本实用新型摒弃传统的高温石英/不锈钢加热器和压缩冰机，不仅能实现加热，同时也能实现冷却，且安全性、维护性能提高，环保性能提高。

主权项

一种改进型HF升降温系统，其特征在于：包括安装有化学品通道的热交换箱体(1)，所述热交换箱体(1)左右两侧分别设有半导体制冷片(2)，所述半导体制冷片(2)与热交换箱体(1)之间设有导热板(3)，所述半导体制冷片(2)另一侧设有冷却水箱(4)，所述热交换箱体(1)侧面上部开设有热交换箱体化学液出口(5)，所述热交换箱体(1)侧面下部开设有热交换箱体化学液进口(6)，所述冷却水箱(4)侧面开设有冷却水箱循环口(7)，所述半导体制冷片(2)通过电流控制模块连接开关电源。