[实用新型]一种离子刻蚀枪装置有效
| 申请号： | 201621057903.4 | 申请日： | 2016-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN206076196U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 唐志强 | 申请（专利权）人： | 承德奥斯力特电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京方韬法业专利代理事务所11303 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 067500 河北省承德市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子刻蚀枪装置，包括离子枪本体和与其连接的基座，该离子枪本体包括灯丝座和外壳，该灯丝座的底端设有通孔，该基座包括底座和固定设置于底座上的氩气导入管，该氩气导入管的出口端从该通孔中伸入离子枪本体的内腔。该氩气导入管的出口端设置在离子枪本体内腔中灯丝附近。该底座上设有与氩气气源相连的通道，该通道与该氩气导入管的入口端密封相连。本实用新型通过对氩气导入管的结构改进，不仅避免了现有技术中氩气接入管跟基座的反复插拔导致密封不严、氩气外漏的缺陷，而且由于氩气导入管将氩气直接通入灯丝附近，提高了氩气利用率。还减低了该氩气导入管与灯丝座通孔的密封要求，节约了成本，增加该离子枪的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种离子刻蚀枪装置，包括离子枪本体和与所述离子枪本体连接的基座，所述离子枪本体包括灯丝座和外壳，其特征在于，所述灯丝座的底端设有通孔，所述基座包括底座和固定设置于所述底座上的氩气导入管，所述氩气导入管的出口端从所述通孔中伸入所述离子枪本体的内腔。
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