[实用新型]一种带有托碗的坩埚有效
申请号: | 201621061550.5 | 申请日: | 2016-09-19 |
公开(公告)号: | CN206173479U | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 朱灿;李加林;李长进 | 申请(专利权)人: | 山东天岳晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B29/62;C30B15/10 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 赵斌;苗峻 |
地址: | 250118 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于碳化硅生产设备领域,具体涉及一种带有托碗的坩埚,该坩埚上设置有石墨托碗,由于石墨托碗的存在,硅蒸汽的挥发受到阻挡,可减少对上保温的侵蚀和晶须的生成,并且即使晶须长大后碰到石墨轴断裂,也会被托碗接住,防止晶须对溶液的污染,保证晶体生长质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 坩埚 | ||
【主权项】:
暂无信息
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