[实用新型]一种光刻机光学镜片的拆装工具有效
| 申请号： | 201621061942.1 | 申请日： | 2016-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN206010965U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 牟宏惺 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/14 | 分类号： | B25B27/14 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 610029 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机光学元件的拆装工具的改造技术领域，尤其涉及一种光刻机光学镜片的拆装工具，包括固定圆环、固定圆环边缘外圈设置用于包覆光学镜片边缘的包覆边、位于固定圆环一面上的多个限位卡柱、设置于包覆边上向四周发射方向的至少一个固定手柄和一个可松紧手柄，在包覆边上设置与可松紧手柄对应的螺纹通孔，所述多个限位卡柱与所述光学镜片边缘的圆孔相适配，进而使用简单，对准准确，防止手抖和工具滑落，不易造成光学镜片的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 光学镜片 拆装 工具 | ||
【主权项】：
一种光刻机光学镜片的拆装工具，其特征在于，包括：固定圆环、固定圆环边缘外圈设置用于包覆光学镜片边缘的包覆边、位于固定圆环一面上的多个限位卡柱、设置于包覆边上向四周发射方向的至少一个固定手柄和一个可松紧手柄，在包覆边上设置与可松紧手柄对应的螺纹通孔，所述多个限位卡柱与所述光学镜片边缘的圆孔相适配。
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