[实用新型]一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统

摘要

本实用新型公开了一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统，所述系统包括发射垂直激光束的半导体激光器、微悬臂梁阵列、光电探测器、计算机。本实用新型利用介质阻挡放电产生的不同梯度的等离子体对高分子微悬臂梁阵列进行修饰，根据修饰后的微悬臂梁阵列的变化情况，可以实现对其表面上不同生化信息进行高速度、高灵敏度、稳定性等进行实时检测。本实用新型结构简单，操作方便，激光器发出的光照射到不同梯度的等离子体修饰的微悬臂梁阵列尖端上，激光束发出的光射到微悬臂梁上后被光电探测器接收，计算机计算和处理光电探测器上的输出信号。该系统实现经过不同梯度等离子体修饰后的微梁对不同待测物质的实时检测，灵敏度高，效率高，检测物质的性质及其变化规律，使微悬臂梁的应用更加广泛。

主权项

一种基于等离子体梯度修饰的微悬臂梁阵列偏转检测系统，由激光器(1)，微悬臂梁阵列(2)，等离子体出口喷枪(3)，光电探测器(4)，计算机(5)，支撑台(6)构成，其特征是激光器(1)发出的光照射到经不同梯度的等离子体修饰后的每根微悬臂梁自由尖端上，经微悬臂梁反射被光电探测器(4)接收，计算机(5)记录和处理光电探测器(4)上的输出信号，并在计算机屏幕上显示结果，便于观察。