[实用新型]蓝宝石单晶电阻生长炉

摘要

本实用新型公开了一种蓝宝石单晶电阻生长炉，包含真空炉体，在真空炉体内部包含保温层、加热电极、坩埚、籽晶杆、智能电源系统、热场系统、控制系统；坩埚通过支柱和托板设置在真空炉体的中间，在坩埚的上方设有保温层，加热电极还与真空炉体固定连接并伸出真空炉体之外，在加热电极内设有水循环通道，所述真空炉体上设置有大炉盖和小炉盖，在小炉盖上设置有旋转机构，所述籽晶杆的上端与伺服运动电机连接，籽晶杆的下端伸入坩埚内。本实用新型解决了传统蓝宝石单晶电阻生长炉打开大炉盖时费时费力的问题，用于生长蓝宝石单晶生长。

主权项

一种蓝宝石单晶电阻生长炉，包括真空炉体、加热电极、坩埚、籽晶杆、大炉盖、小炉盖、伺服运动电机；所述坩埚通过支柱和托板设置在真空炉体的中间；加热电极与真空炉体固定连接并伸出真空炉体之外；所述真空炉体上设置有大炉盖，在大炉盖上设置有小炉盖；在小炉盖上设置有伺服运动电机；所述籽晶杆的上端与伺服运动电机连接；籽晶杆的下端伸入坩埚内；其特征在于，该蓝宝石单晶电阻生长炉还包括智能电源系统、热场系统、控制系统；所述智能电源系统通过电源导线与热场系统电连接；热场系统通过信号线与控制系统连接；所述智能电源系统包括AC‑DC开关电源设备、通过切换开关连接所述AC‑DC开关电源设备的DC‑DC电源隔离变换器、连接AC‑DC开关电源设备及用以控制AC‑DC开关电源设备输出的电压以及交直流状态的电源微处理器、连接所述电源微处理器同时用以采集开关量信号的数字开关量采集设备；所述热场系统包括电阻加热装置、温度传感器系统；所述温度传感器系统安装在电阻加热装置上；所述电阻加热装置设置在在坩埚周围；所述电阻加热装置从上到下依次设置有七层加热圈；所述温度传感器系统包括与七层加热圈相匹配的七个温度传感器；所述电阻加热装置的上端与加热电极固定连接；所述控制系统包括控制仪表系统、监控电脑；所述控制仪表系统通过导线连接监控电脑；所述控制仪表系统包括与七层加热圈一一对应并连接的七个加热显示器；所述加热显示器设置有PID调节器和可编程控制器；所述PID调节器通过串口连接可编程控制器；所述温度传感器通过信号线与可编程控制器连接。