[实用新型]电子式生物传感器与微流体装置的多基板整合结构

摘要

本实用新型提供一种电子式生物传感器与微流体装置的多基板整合结构，包括一第一基板、一电子式生物传感器、一黏着层、一第二基板、一流道层以及一覆盖件；以此，至少一流体可从该覆盖件流入，通过该流道层流经该第二基板并接触该电子式生物传感器，以进行感测。该电子式生物传感器透过黏着层分别与第一基板与第二基板固着，并透过导电垫、凸块、第二导电线路及第一导电线路做电性连接，以将感测结果传至设置于第一基板并连接至外部的导电垫。

主权项

一种电子式生物传感器与微流体装置的多基板整合结构，其特征在于，包括：一第一基板，具有一容置窗口、一第一导线线路以及多个第一导通孔，其中该容置窗口是设置于该第一基板的中间部分，该多个第一导通孔内填充一导电性材料，且分别在该多个第一导通孔的下端设置有一导电垫、以及在该多个第一导通孔的上端连接该第一导线线路，该第一导线线路、该导电垫与该多个第一导通孔内填充的该导电性材料电性相连；一电子式生物传感器，通过一固着材料结合设置于该第一基板的容置窗口内，具有一生物感测层以及多个导电垫，其中该生物感测层是朝上设置，暴露于该第一基板的容置窗口内，该多个导电垫朝上设置，提供该电子式生物传感器的电性连接；一黏着层，结合设置于该第一基板上，具有一第一镂空窗口以及多个导电凸块，其中该第一镂空窗口对应设置于该电子式生物传感器的生物感测层上方，以暴露该生物感测层，该多个导电凸块分别对应设置于该电子式生物传感器的多个导电垫及该第一基板的第一导线线路上，且分别与该多个导电垫及该第一基板电性连接，并封闭该电子式生物传感器上的导电垫及该第一基板上的该第一导线线路；一第二基板，通过该黏着层固着于该第一基板上方，具有一第二镂空窗口以及一第二导线线路，其中该第二镂空窗口对应设置于该黏着层的该第一镂空窗口与该电子式生物传感器的生物感测层上方，以暴露该生物感测层，该第二导线线路是设置于该第二基板的朝下表面，与该黏着层的该多个导电凸块电性相连，该第二基板的表面是改质成亲水性或疏水性的表面；一流道层，设置于该第二基板上方，且具有至少一流道，以供至少一流体流动；以及一覆盖件，设置于该流道层上方，并具有至少一第一流体入口及至少一第一流体出口，以供该至少一流体的流入及流出，该至少一流体入口及该至少一流体出口与该流道层的该至少一流道相连接，其中，该至少一流体从该至少一第一流体入口流入，通过该至少一流道流经该第二基板的该第二镂空窗口与该黏着层的该第一镂空窗口，藉以接触该电子式生物传感器的该生物感测层，以进行感测，再从该至少一流体出口流出。