[实用新型]一种电容式边缘传感器有效

专利信息
申请号: 201621069322.2 申请日: 2016-09-21
公开(公告)号: CN206095142U 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: 郑艳芳;李雪宝;汤坤 申请(专利权)人: 江苏科技大学
主分类号: G01B7/30 分类号: G01B7/30;G01B7/28
代理公司: 北京市领专知识产权代理有限公司11590 代理人: 林辉轮
地址: 215600 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种电容式边缘传感器,包括激励源、电荷放大电路和信号调理电路,所述传感器还包括一组正对面积相等的待测平板电容A和待测平板电容B、信号转换电路和相位比较电路,所述待测平板电容A和待测平板电容B的一端接入激励源,另一端接入对称的电荷放大电路中,所述电荷放大电路与微弱信号检测电路连接,所述微弱信号检测电路信号调理电路连接,所述信号调理电路与信号转换电路连接,所述信号转换电路与相位比较电路连接,所述待测平板电容A和待测平板电容B分别是由设在相邻子镜边缘下侧的第一金属膜和固定在一压电陶瓷片上表面的第二金属膜组成。本实用新型中的电容式边缘传感器具有体积小、精度高、成本低的优点。
搜索关键词: 一种 电容 边缘 传感器
【主权项】:
一种电容式边缘传感器,用于拼接望远镜子镜(9)的拼接镜面面形检测,包括激励源(1)、电荷放大电路(4)和信号调理电路(6),其特征在于:所述传感器还包括一组待测平板电容A(2)、待测平板电容B(3)、信号转换电路(7)和相位比较电路(8),所述待测平板电容A(2)和待测平板电容B(3)的一端接入激励源(1),另一端接入对称的电荷放大电路(4)中,所述电荷放大电路(4)接入微弱信号检测电路(5),所述微弱信号检测电路(5)接入信号调理电路(6),所述信号调理电路(6)接入信号转换电路(7),所述信号转换电路(7)接入相位比较电路(8),所述待测平板电容A(2)和待测平板电容B(3)分别是由设在相邻子镜边缘下侧的第一金属膜(10)和固定在一压电陶瓷片上表面的第二金属膜(13)组成,且待测平板电容A(2)和待测平板电容B(3)的正对面积相等。
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