[实用新型]一种XYθ平面三自由度精密定位平台

摘要

本实用新型公开了一种XYθ平面三自由度精密定位平台，包括压电陶瓷、复合菱形位移放大机构、桥型位移放大机构、运动平台和固定框架，压电陶瓷安装在复合菱形位移放大机构内，四个复合菱形位移放大机构均平行设置且分别位于固定框架的四角，运动平台位于固定框架的中心处，运动平台的两侧面通过两个桥型位移放大机构分别与位于运动平台两侧的复合菱形位移放大机构连接。本实用新型通过四个复合菱形位移放大机构和两个桥型位移放大机构的组合，使该平台具备两个平动和一个转动自由度，并通过两级位移放大以及不同的驱动组合来实现三个平面自由度运动，使其结构简单和紧凑，且输出位移大。

主权项

一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：包括压电陶瓷、复合菱形位移放大机构、桥型位移放大机构、运动平台和固定框架，所述压电陶瓷安装在所述复合菱形位移放大机构内，四个所述复合菱形位移放大机构均平行设置且分别位于所述固定框架的四角，所述运动平台位于所述固定框架的中心处，所述运动平台的两侧面通过两个所述桥型位移放大机构分别与位于所述运动平台两侧的所述复合菱形位移放大机构连接。