[实用新型]一种采用动态流导法测量材料放气性能的真空测量系统

摘要

一种采用动态流导法测量材料放气性能的真空测量系统，结构为抽气装置的第一分子泵的出气端连接第二分子泵的进气端；第二分子泵的出气端连接机械泵的进气端；第二分子泵与前级阀之间连接有电阻规；进气装置的气体质量流量计的进气端连接储气罐；气体质量流量计的出气端连接超高真空微调阀的一端；进气装置的出气端与第一分子泵的进气端连接，进气装置的出气端上还连接有超高真空放气阀；流导单元的超高真空截止阀连接在流导的进气端和出气端之间；流导的出气端与第一分子泵的进气端连接；测量室通过超高真空阀连接流导的进气端；测量室还连接有四级杆质谱仪和超高真空电离计；测试装置外设可升降的第一烘箱；样品室与测量室之间通过密闭通道连接。

主权项

一种采用动态流导法测量材料放气性能的真空测量系统，其特征是包括平台、抽气装置、进气装置、测量室、样品室和样品传送机构；所述抽气装置包括机械泵和两个分子泵；第一分子泵的进气端即为抽气装置的进气端；第一分子泵的出气端连接第二分子泵的进气端；第二分子泵的出气端通过前级阀连接机械泵的进气端；第二分子泵与前级阀之间连接有电阻规；所述进气装置包括储气罐和气体质量流量计；气体质量流量计的进气端通过进气阀连接储气罐；气体质量流量计的出气端连接超高真空微调阀的一端，超高真空微调阀的另一端即为进气装置的出气端；进气装置的出气端与第一分子泵的进气端连接，进气装置的出气端上还连接有超高真空放气阀；所述进气装置外设加热套；所述进气装置的储气罐还通过解压阀连接气瓶；所述进气装置的进气端连接有流导单元；流导单元包括超高真空截止阀和流导；超高真空截止阀连接在流导的进气端和出气端之间；在流导的出气端上连接有超高真空电离规；流导的出气端与第一分子泵的进气端连接；所述流导单元外设加热套；所述测量室位于平台上，且测量室是密闭的；测量室通过超高真空阀连接流导的进气端；测量室还连接有四级杆质谱仪和超高真空电离计；测试装置外设可升降的第一烘箱；第一烘箱的底面设有开口的，第一烘箱降到平台上的状态下，第一烘箱的开口与平台密闭连接；所述样品室位于平台上，且样品室是密闭的；样品室与测量室之间通过密闭通道连接；样品室外罩有第二烘箱；所述样品室设有玻璃材质的壳体；所述样品传送装置包括轨道、样品加热平台和电磁控制装置；所述轨道穿过密闭通道，且轨道的两端分别在测量室内和样品室内，轨道通过焊接或其他方式固定在真空管道内；样品加热平台与轨道滑动连接，样品加热平台上装带有磁性的金属材料；电磁控制装置在轨道的尽头，且位于测量室和样品室外；所述样品加热平台通过非接触磁力耦合方式与电磁控制装置连接；所述的轨道两端设有阻隔装置；还包括加热装置；加热装置是套在测量室的壳体外的高频感应加热装置；或者是朝向测量室的壳体的红外加热装置；或者是置于测量室外的加热片；所述测量室和样品室都装有测温装置。