[实用新型]一种具有在线检测菲林涨缩功能的曝光机有效

专利信息
申请号: 201621073278.2 申请日: 2016-09-23
公开(公告)号: CN206039147U 公开(公告)日: 2017-03-22
发明(设计)人: 张方德;管敏剑 申请(专利权)人: 浙江欧视达科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 温州金瓯专利事务所(普通合伙)33237 代理人: 夏曙光
地址: 325000 浙江省温州市高新技术*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种具有在线检测菲林涨缩功能的曝光机。解决了现有曝光机不能在线检测菲林涨缩的问题。它包括工作平台、控制系统和成像模块,所述的工作平台包括与工件相贴合的菲林和与菲林相贴合的玻璃,所述的成像模块用于采集菲林的位置标识与玻璃的定位标记之间的位置偏差信号并输入到控制系统,所述的控制系统包括比较模块和预警模块,所述的比较模块用于接收菲林工作后位置偏差信号与菲林原始的位置偏差信号进行比较并将比较结果输出给预警模块,所述的预警模块用于位置偏差信号超过设定值时起到预警。本实用新型实现了工作中菲林的在线检测,不需要拆卸工作平台就能可靠的准确的检测菲林的涨缩情况,降低了产品的废品率。
搜索关键词: 一种 具有 在线 检测 菲林涨缩 功能 曝光
【主权项】:
一种具有在线检测菲林涨缩功能的曝光机,包括工作平台、控制系统和成像模块,其特征在于:所述的工作平台包括与工件相贴合的菲林和与菲林相贴合的玻璃,所述的玻璃上设有多个定位标记,所述的菲林上设有与定位标记相适配的位置标识,所述的成像模块用于采集菲林位置标识与定位标记之间的位置偏差信号并输入到控制系统,所述的控制系统包括比较模块和预警模块,所述的比较模块用于接收菲林工作后位置偏差信号与菲林原始的位置偏差信号进行比较并将比较结果输出给预警模块,所述的预警模块用于位置偏差信号超过设定值时起到预警。
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