[实用新型]一种用于减少活塞环PVD涂层表面缺陷的屏蔽装置有效
| 申请号： | 201621075471.X | 申请日： | 2016-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN206173431U | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 柏洋;吴其涛;陈海波 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 215122 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种用于减少活塞环PVD涂层表面缺陷的屏蔽装置，包括底座及与设置在其下方的电机和分度回转装置，所述分度回转装置上装有一组传动装置；所述底座上有一通过螺孔连接的立柱并与所述底座垂直，所述立柱的顶部装有一通过连接螺孔连接的屏蔽罩，且所述屏蔽罩与所述底座平行，所述立柱四周装有与所述立柱距离相等且平行的一组夹具，所述夹具组合体所覆盖的面积小于或等于其正上方所述屏蔽罩的面积。本实用新型的有益效果主要体现在：一次性有效屏蔽设备内部掉落的膜层碎屑等杂质，减少涂层缺陷产生，解决了绝大部分的缺陷问题，使其不良率降低到1%不到，良率有了大幅提高，且效果持续稳定，确保高合格率的用于活塞环PVD涂层的屏蔽装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 减少 活塞环 pvd 涂层 表面 缺陷 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
一种用于减少活塞环PVD涂层表面缺陷的屏蔽装置，其特征在于，包括底座（4）及与设置在其下方的电机（6）和分度回转装置（5），所述分度回转装置（5）上装有一组传动装置；所述底座（4）上有一通过螺孔连接的立柱（2）并与所述底座（4）垂直，所述立柱（2）的顶部装有一通过连接螺孔连接的屏蔽罩（1），且所述屏蔽罩（1）与所述底座（4）平行，所述立柱（2）四周装有与所述立柱（2）距离相等且平行的一组夹具（3），所述夹具（3）组合体所覆盖的面积小于或等于其正上方所述屏蔽罩（1）的面积。
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